低溫等離子體”是電子、化學、催化等綜合作用下的電化學過程，是依靠等離子體在瞬間產生的電場能量電離、裂解氣體的化學鍵能，從而破壞廢氣分子結構，達到凈化目的。
低溫等離子凈化器能 去除揮發性物（VOC）、無機物、硫化氫、氨氣、硫醇類等主要污染物，以及各種惡臭味，對于長期彌漫、積累的惡臭、異味，24小時內即可祛除，并且具有殺滅空氣中、病毒等各種微生物能力，而且具有明顯的 作用。
低溫等離子體廢氣處理不需任何添加劑，不產生廢水、廢渣，不會導致二次污染。
低溫等離子法廢氣處理特點：
1：自動化程度高
2：工藝簡潔，操作簡單，方便
3：凈化、無二次污染
4：處體：氨、胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S、VOC類、苯、甲苯、二甲苯等主要污染物，以及惡臭氣體。
低溫等離子廢氣處理的不足之處：
1.易產生火花放電，在高峰值電壓下，反應器易產生火花放電，火花放電不僅增大電能消耗，而且破壞放電的正常進行，凈化效率低，還存在危險性。
2.當填充材料直徑為3mm時，電場強度為4KV/cm時，由于擊穿和火花的產生，對苯等物的分解并不 。
3.對于低溫等離子設備對設備部件的構型設計、制造精度、嚴密性等要求很高。比如對電場頻率、電壓、高頻的脈沖等參數，成套設備中如果其中的某個參數達不到要求，如電壓電低、頻率過高或過低等會對離子體的產生量造成很大的影響，甚至會造成爆炸事件。
4.目前國內廢氣處理采用低溫等離子技術不成熟，處于摸索階段。相關質量管理規范標準不完善，對技術水平參差不齊的設備生產商缺少嚴格的鑒定依據。所以市場上眾多自稱為低溫等離子體的凈化設備，都是未通過鑒定的。
